中國教育報-中國教育新聞網訊（記者 程墨 通訊員 尚紫荊）近日，華中科技大學機械學院劉世元教授團隊成功研發出國內首款完全自主可控、可用于芯片制造的OPC軟件，并實現成果轉化和產業化，填補了國內在此方面的空白。

據劉世元介紹，光刻是芯片制造中最為關鍵的一種工藝，通過光刻成像系統，將設計好的圖形轉移到硅片上。隨著芯片尺寸不斷縮小，硅片上的曝光圖形會產生畸變。在90nm甚至180nm以下芯片的光刻制造前，都必須采用一類名為OPC（光學臨近校正）的算法軟件進行優化。沒有OPC，所有IC制造廠商將失去將芯片設計轉化為芯片產品的能力。目前，全球OPC工具軟件市場完全由Synopsys、Mentor、ASML—Brion等3家美國公司占領。

“從基礎研究到產業化應用，我們團隊整整走了十年。十年磨一劍，就是要解決芯片從設計到制造的卡脖子問題。下一步，我們將加快產品推廣步伐，加快進入國內外芯片制造廠商市場，力爭成為全球芯片產業鏈中重要的一環。”劉世元說。

據悉，劉世元是華中科技大學集成電路測量裝備研究中心主任，同時也是光谷實驗室集成電路測量檢測技術創新中心主任。他早年師從華中理工大學前校長、著名機械學家楊叔子院士，于1998年獲工學博士學位。